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Ti膜的成膜方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3424904

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本發(fā)明涉及在腔室內(nèi)供給含有TiCl4氣體和還原氣體的處理氣體, 在載置于腔室內(nèi)的載置臺(tái)上的、具有含Si部分(含硅部分)的被處理 基板的含Si部分上形成Ti膜的。背景技術(shù)在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中,為了應(yīng)對(duì)現(xiàn)階段高密度化以及高集成化 的要求而具有使回路結(jié)構(gòu)成為多層配線結(jié)構(gòu)的傾向,因此,作為下層 半導(dǎo)體設(shè)備和上層半導(dǎo)體設(shè)備的連接部的接觸孔、作為上下配線層彼 此的連接部的通過(guò)孔等的層間的電接觸用的埋入技術(shù)則變得重要。對(duì)于這種接觸孔、通過(guò)孔的埋入, 一般使用Al (鋁)...
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