技術(shù)編號：3424914
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于將掩模配置在基板上并且對基板進(jìn)行預(yù)定 圖案處理的基板處理設(shè)備和基板處理方法，特別地，涉及用于 將金屬掩模配置在基板的表面上以形成薄膜圖案的基板處理設(shè) 備和基^反處理方法。背景技術(shù)隨著近年來形成在基板上的圖案的微細(xì)化，需要提高圖案 處理的精度(特別地，提高作為一種處理類型的成膜處理中的 圖案的位置精度)，并且金屬掩模的厚度也在變小。這是因?yàn)槿?果金屬掩模厚，則微細(xì)開口部落在金屬掩模的陰影下，且相對 于基板傾斜地進(jìn)入金屬掩模中的微細(xì)開口部的沉積粒...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。