技術(shù)編號(hào)：3425011
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。本申請(qǐng)以日本特愿2007-218296號(hào)為基礎(chǔ)申請(qǐng)，將其內(nèi)容合并于此。 背景技術(shù)作為太陽能電池、發(fā)光二極管的電極，利用透明導(dǎo)電材料ITO (In203-Sn02)。但是，成為ITO的原料的銦(In)為稀有金屬，預(yù)計(jì)以后 會(huì)因很難得到而造成成本上升。因此，作為代替ITO的透明導(dǎo)電材料，豐富 且廉價(jià)的ZnO類材料引起廣泛關(guān)注(例如參照下述專利文獻(xiàn)1 ) 。 ZnO類材 料適用于可對(duì)大型基板均勻成膜的濺射，通過變更ln203類材料的靶可簡(jiǎn)單 地成膜。...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。