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鎢酸鋯薄膜的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3427543

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本發(fā)明屬于薄膜制備領(lǐng)域,具休涉及一種。 背景技術(shù)立方相鎢酸鋯是目前負(fù)膨脹材料研究的熱點(diǎn)之一,其在0.3 1050K的溫度區(qū)間 內(nèi)始終保持負(fù)熱膨脹特性,負(fù)膨脹系數(shù)高,且表現(xiàn)為各向同性。這些優(yōu)異的性質(zhì)為 鎢酸鋯的廣泛應(yīng)用奠定了良好的基礎(chǔ)。它可與正熱膨脹材料復(fù)合成低熱膨脹或零膨 脹材料,應(yīng)用于高精密度的光學(xué)顯微鏡或電子設(shè)備中,例如用于望遠(yuǎn)鏡,激光設(shè) 備,光纖通訊系統(tǒng)等的精確光聚焦與光路準(zhǔn)直,使其不受溫度漲落的影響,也可用 作精密光學(xué)鏡面及其襯底材料、計算機(jī)芯片、...
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