技術編號：3428259
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于晶體硅太陽能電池制造領域，具體是一種改善太陽能電池單晶硅片表 面的鈍化效果，提高太陽能電池的電性能的鍍膜工藝。背景技術在太陽能電池的制作過程中，降低電池單晶硅片表面光的反射、降低電池單晶硅 片表面載流子復合尤為重要。在單晶硅太陽能電池中采用在電池單晶硅片表面鍍上一層減 反射膜來降低光的反射，延長光程，增加光生載流子的產(chǎn)生，同時起到鈍化效果。目前主要的減反射膜是單層膜(參見圖1)，使用的方法是采用管式或板式等離子 加強化學氣相沉積(英文簡稱PECV...
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