技術(shù)編號(hào)：3434706
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明通常涉及氣體的凈化，更具體地說，涉及一種利用吸收和蒸發(fā)技術(shù)生產(chǎn)不含雜質(zhì)的凈化半導(dǎo)體氣體的方法。目前，提供給電子產(chǎn)品用戶的瓶裝氨，其規(guī)格為含水量低于3ppm。這樣“高的”含水量值實(shí)際上是由于受過去分析技術(shù)的限制和這并非是實(shí)際可達(dá)到的水平。由于這一限制，凈化效果沒能準(zhǔn)確地得到證明。為了達(dá)到3ppm或更小的含水量，源氣瓶中較高含水量的氨被轉(zhuǎn)換成汽相充入指定瓶中。這種處理方法可認(rèn)為能足以使含水量降至3ppm規(guī)格。可是曾發(fā)現(xiàn)，簡(jiǎn)單的汽相轉(zhuǎn)換(vapor pha...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。