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技術(shù)編號：3436298

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本發(fā)明涉及氧化物材料、氧化物薄膜的制造方法以及使用該材料的元件，詳細(xì)涉及可用于作為非易失性存儲器的強電介質(zhì)存儲器的氧化物材料、氧化物薄膜的制造方法以及使用該材料的元件。背景技術(shù) 近年來，隨著移動電話、筆記本電腦、掌上電腦等便攜式終端的發(fā)展，強電介質(zhì)存儲器正受到關(guān)注。強電介質(zhì)存儲器能夠使書寫輸入速度加快、實現(xiàn)大容量，所以對能夠同時處理含有影像、聲音等大量數(shù)據(jù)的大型媒體器材特別有用，并且存儲數(shù)據(jù)不需電力，因而可以實現(xiàn)低耗電。強電介質(zhì)存儲器是利用強電介質(zhì)的極化特...
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