技術(shù)編號:3436335
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及化工領(lǐng)域一種生產(chǎn)氯硅烷的方法及其設(shè)備,特別是涉及一種生產(chǎn) 三氯氫硅的方法及其設(shè)備。 背景技術(shù)三氯氫硅是一種用途非常廣泛的有機硅單體,主要用于生產(chǎn)半導體硅、單晶 硅和多晶硅的原料,廣泛用于國防、國民經(jīng)濟乃至人們?nèi)粘I畹母鱾€領(lǐng)域,三 氯氫硅還是生產(chǎn)硅垸偶聯(lián)劑和其他有機硅化合物的重要原料。國內(nèi)現(xiàn)有生產(chǎn)三氯 氧硅的裝普遍采用小型流化床反應(yīng)器,直徑500mm以下,其結(jié)構(gòu)大多為筒形,上 部直徑擴大部分是氣固分離段,該段設(shè)有出料口,中部的直筒段是反應(yīng)段,反應(yīng)...
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