技術編號：3441484
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種針對惰性氣體的氣體純化裝置。 背景技術在一些工業(yè)領域中，往往需要高純惰性氣體，如氮氣、氬氣或者兩者的混合氣。 如光電企業(yè)所需要的燈泡氬，所需純度為微氧=lppm，露點=-70V，總烴< lppm，氫氣 ^ lppm。經(jīng)常規(guī)方法(如深冷法)制取的氣體一般含有一些活性雜質(zhì)氣體，如氧氣、氫氣、 水和烴類等。因此需要對制取的氣體進行純化。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種工藝簡單、操作簡便、可靠性高的氣體純化裝置。為達到上述目的，本發(fā)明采用的技術方...
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