技術(shù)編號(hào)：3442358
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)工藝中三氯氫硅合成設(shè)備，尤其是可以加強(qiáng)硅粉加料 機(jī)密封效果。背景技術(shù)三氯氫硅合成是改良西門子工藝生產(chǎn)多晶硅的重要一環(huán)，生產(chǎn)三氯氫硅硅粉進(jìn)料 一般是采用硅粉加料機(jī)連續(xù)給料。此種進(jìn)料方式對(duì)加料機(jī)要求較高(耐磨、耐腐蝕)，加料 機(jī)機(jī)械密封易泄漏，這嚴(yán)重制約了三氯氫硅合成工序運(yùn)行。目前多晶硅生產(chǎn)已進(jìn)入薄利時(shí) 代，保持三氯氫硅合成工序長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)生產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)多晶硅閉路循環(huán)顯得由為重要。硅粉加料機(jī)的工作原理是硅粉加料機(jī)主體是一個(gè)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，把主體...
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