技術(shù)編號(hào)：3442360
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)中還原爐、氫化爐尾氣熱能的回收再利用技術(shù)，特別是一種還原爐/氫化爐尾氣預(yù)熱進(jìn)料裝置。背景技術(shù)原料三氯氫硅(四氯化硅)在蒸發(fā)器中汽化，并同時(shí)與氫氣按照一定比例進(jìn)行混 合預(yù)熱，進(jìn)入還原爐(氫化爐)。如圖1所示，蒸發(fā)器直接與還原爐(氫化爐)的尾氣雙管 連接，還原爐(氫化爐)反應(yīng)后的高溫尾氣經(jīng)一級(jí)冷卻器冷卻，采用水冷方式，管程進(jìn)口溫 度490°C，出口溫度200°C，熱量損耗嚴(yán)重，能耗較大，且增加了水系統(tǒng)處理的冷卻負(fù)荷。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。