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技術(shù)編號：3443206

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本發(fā)明涉及一種三氯氫硅，尤其涉及。 背景技術(shù)三氯氫硅產(chǎn)品生產(chǎn)一般用工業(yè)硅粉和氯化氫氣體在沸騰床式反應(yīng)爐內(nèi)反應(yīng)生成。 原料工業(yè)硅粉的輸送通常采用密相氣流輸送。但由于硅粉硬度高(莫氏硬度為7)，在氣流輸送時對輸送管道和相關(guān)閥磨損很嚴(yán)重。如果使用普通的碳鋼管和普通金屬密封閥，在硅粉氣流輸送中極易被磨損，使用壽命短則一周，長不過三個月，經(jīng)常會因管道或閥管件損壞而導(dǎo)致停工。另外，碳鋼管道磨損下來的狗會隨硅粉一起進(jìn)入反應(yīng)系統(tǒng)，影響三氯氫硅合成。 頻繁停車檢修，使三氯氫...
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