技術編號：3443461
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種燃燒反應器燈頭，具體涉及一種氯化氫合成爐燈頭。 背景技術作為半導體材料的高純度多晶硅的制造方法，目前應用最廣泛的是改良西門子 法。改良西門子法的具體過程如下用高純氯氣和氫氣在氯化氫合成爐內(nèi)反應合成氯化氫， 氯化氫和工業(yè)硅粉在高溫下合成三氯氫硅，然后對三氯氫硅提純精餾后，再在氫還原爐內(nèi) 進行CVD(化學氣相沉淀法)反應生產(chǎn)高純多晶硅。國內(nèi)外現(xiàn)有的多晶硅廠絕大部分采用 此法生產(chǎn)太陽能級與電子級多晶硅。該法的中間過程之一就是氯化氫合成。氯化氫合...
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