技術(shù)編號(hào):3443593
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于化工設(shè)備領(lǐng)域,涉及一種四氯化硅回收利用的裝置。 背景技術(shù)多晶硅是半導(dǎo)體工業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、太陽(yáng)能光伏電池產(chǎn)業(yè)最基礎(chǔ)的功能性材料。 近幾年隨著太陽(yáng)能的大規(guī)模開(kāi)發(fā)利用,多晶硅的用途越來(lái)越廣泛,用量也越來(lái)越大,我國(guó)多晶硅產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)出幾何級(jí)數(shù)發(fā)展態(tài)勢(shì)。目前我國(guó)在建、已建多晶硅規(guī)模達(dá)9萬(wàn)噸/年,這些裝置主要采用改良西門(mén)子法技術(shù)。其反應(yīng)原理為三氯氫硅與氫氣在高溫條件下發(fā)生氧化還原反應(yīng),生成多晶硅、四氯化硅、氯化氫。采用該技術(shù)每生產(chǎn)1噸多晶硅將產(chǎn)生10-20...
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