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技術(shù)編號：3443599

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本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)所用設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種新型多晶硅生產(chǎn)用尾氣罐。背景技術(shù)目前多晶硅生產(chǎn)中，尾氣提純能提高原料的利用率，但現(xiàn)在的尾氣提純采用的工藝中，主要存在以下問題外賣的三氯氫硅存放罐或其它二氯二氫硅含量較高的尾氣罐，如果直接與提純尾氣管相連，容易返回精餾系統(tǒng)或返回車間，增加系統(tǒng)的排放量，增加了各塔的運行成本，影響到產(chǎn)品質(zhì)量。實用新型內(nèi)容本實用新型技術(shù)任務(wù)是針對上述技術(shù)不足，提供了一種新型多晶硅生產(chǎn)用尾氣罐。本實用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是...
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