技術(shù)編號(hào)：3444196
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種多晶硅還原爐局部改造，特別是涉及一種多晶硅還原爐進(jìn)料噴嘴。背景技術(shù)多晶硅制造過程中反應(yīng)爐是多晶硅棒成型的必要空間，反應(yīng)原料在反應(yīng)爐內(nèi)的分布均勻程度直接影響到硅棒的成型速度和成型品相，也跟反應(yīng)速度和成品率有很大關(guān)系?，F(xiàn)有的反應(yīng)爐的進(jìn)料噴嘴大都是采用圓筒形的噴嘴，由于反應(yīng)爐高度比較高，現(xiàn)有的圓筒形噴嘴的噴射能力有限，不能沖頂，只能噴射到反應(yīng)爐的一半高度左右，不能充分利用反應(yīng)爐內(nèi)的空間，從而影響了原料在反應(yīng)爐內(nèi)分布均勻程度，進(jìn)一步的影響反應(yīng)速度...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。