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技術(shù)編號：3444391

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本實(shí)用新型涉及一種還原爐尾氣出口裝置，屬于多晶硅材料制備。背景技術(shù)多晶硅是制造硅拋光片、太陽能電池及高純硅制品的主要原料，是信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)原料?，F(xiàn)有技術(shù)中廣泛采用西門子法制備多晶硅。西門子法是在還原爐內(nèi)，SiHCl3和H2等工藝氣體經(jīng)進(jìn)氣管進(jìn)入爐體內(nèi)發(fā)生還原反應(yīng)，生成Si并沉積在硅芯電極上。由于還原爐內(nèi)溫度、壓力等情況復(fù)雜，伴隨大量其它反應(yīng)，生成成分復(fù)雜的副產(chǎn)物。大量未反應(yīng)的原料氣體及副產(chǎn)物經(jīng)過多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)進(jìn)入下一工序。常規(guī)尾氣出口...
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