技術編號：3446582
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及多晶硅 生產(chǎn)，更具體地，本發(fā)明涉及一種二氯二氫硅除雜設備。背景技術多晶硅是集成電路和光伏發(fā)電用關鍵原材料，是《國家中長期科學和技術發(fā)展規(guī)劃綱要》制造業(yè)領域基礎原材料優(yōu)先主題的重要內容。世界多晶硅生產(chǎn)的產(chǎn)業(yè)化技術主要有兩種工藝，即改良西門子工藝和硅烷法工藝。改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的過程中，會產(chǎn)生部分的二氯二氫硅。這種物質存在易燃、易爆、沸點低的特點，如果不得到有效的回收利用，則會進入多晶硅尾氣系統(tǒng)，造成尾氣負荷大，安全事故頻發(fā)的問題。針對二氯二氫硅...
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