技術(shù)編號(hào):3451018
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及分散在疏水有機(jī)溶劑中具有優(yōu)異的分散穩(wěn)定性的氧化硅溶膠,以及其制備方法。背景技術(shù) 氧化硅溶膠被用于制備半導(dǎo)體器件中使用的有機(jī)絕緣薄膜,從而改善薄膜的物理性質(zhì)。但是,因?yàn)檠趸桀w粒由于其表面存在的羥基的相互作用而在溶液中趨向于團(tuán)聚,所以傳統(tǒng)的氧化硅溶膠具有差的分散穩(wěn)定性。因此,已經(jīng)有大量的工作嘗試通過(guò)使用親水溶劑和添加劑,例如酸、堿和鹽(日本專利申請(qǐng)公開(kāi)號(hào)1993-97422、1993-85717、1994-199515、1997-67114和199...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。