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技術(shù)編號：3451486

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在綜合氯硅垸廠中回收利用高沸點化合物的方法本發(fā)明涉及在包括三氯硅烷生產(chǎn)、Si沉積及細(xì)分散的二氧化硅生產(chǎn)的生產(chǎn)半導(dǎo)體硅的綜合氯硅垸廠中回收利用高沸點化合物的方法。在生產(chǎn)半導(dǎo)體硅的綜合廠中，在流化床反應(yīng)器中由冶金硅和HC1 或由冶金硅和SiCl4/H2生產(chǎn)作為粗硅烷的三氯硅烷。隨后通過蒸餾/純 化將粗硅垸純化以提供三氯硅烷。由純化的三氯硅烷沉積多晶硅，這 尤其導(dǎo)致形成SiCU。 SiCU的利用(例如氫化以形成三氯硅烷或燃燒以 生產(chǎn)細(xì)分散的二氧化硅或硅酯)是現(xiàn)有...
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