技術(shù)編號(hào)：3453365
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了氯硅烷提純系統(tǒng)，包括第一至第五精餾塔，第一至第五精餾塔中的每一個(gè)精餾塔均具有位于該精餾塔上的進(jìn)料口、出氣口、出液口、進(jìn)液口以及進(jìn)氣口；第一至第五再沸器，第一至第五再沸器中的每一個(gè)均具有位于該再沸器上的進(jìn)液口、出氣口、蒸汽進(jìn)口以及冷凝液出口；第一至第五回流泵；一個(gè)冷凝器。與簡(jiǎn)單耦合精餾工藝相比，本發(fā)明的氯硅烷提純系統(tǒng)中五塔連續(xù)耦合節(jié)能效果更明顯，能耗降低80%，解決了多晶硅系統(tǒng)中提純工序高能耗的問題，進(jìn)而降低了生產(chǎn)成本。專利說明氯娃院提純系統(tǒng)[0...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。