技術(shù)編號：3457902
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種用于生產(chǎn)硅及氮化硅納米顆粒的裝置，包括桶的外壁通過陽極接地線（4）與地線相連接而形成陽極（3）、設(shè)置在桶內(nèi)部的陰極（7）和陰極支架（10），所述的陰極支架（10）將陰極（7）支撐在桶內(nèi)，桶狀外壁的進氣蓋（13）設(shè)有氣體進氣口（1），進氣口（1）設(shè)置在進氣蓋（13）上的凸出圓錐上方接近圓錐頂?shù)奈恢茫涮卣髟谟谒龅倪M氣蓋（13）和陰極（7）之間設(shè)有石英蓋（6），石英蓋（6）上的凸出圓錐（62）的形狀大小與進氣蓋（13）凸出的圓錐形狀相同；所...
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