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技術(shù)編號(hào)：3458407

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本發(fā)明涉及在超臨界壓力范圍內(nèi)通過(guò)熱氫化制備三氯硅烷的方法。 背景技術(shù) 三氯硅烷與氫生成多晶硅的反應(yīng)導(dǎo)致大量四氯硅烷的形成。四氯硅烷可通過(guò)轉(zhuǎn)化，也就是四氯硅烷與氫的催化或熱脫氫鹵化反應(yīng)而再轉(zhuǎn)化成三氯硅烷和氯化氫。已經(jīng)有兩種方法變型用于將四氯硅烷轉(zhuǎn)化成三氯硅烷。低溫轉(zhuǎn)化是在硅和催化劑的存在下在400-700℃的溫度下進(jìn)行的。專(zhuān)利US2595620、US 2657114(Union Carbide and Carbon Corporation/Wagner...
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