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技術(shù)編號(hào)：3465693

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本發(fā)明涉及制備氧化鈰(CeO2)納米顆粒的方法，確切地說，涉及制備難于用傳統(tǒng)的水熱反應(yīng)合成的顆粒大小不小于約30納米，且形狀和大小均勻分布并可在低溫下制造出來的單晶氧化鈰納米粉的方法。背景技術(shù) 氧化鈰(CeO2)粉具多種功能，可用作研磨劑、催化劑和熒光材料等等。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，氧化鈰粉作為半導(dǎo)體生產(chǎn)的CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)工藝中所使用的漿的主要成份而倍受矚目。在氧化鈰(CeO2)粉應(yīng)用的許多領(lǐng)域中，迫切需要合成顆粒細(xì)致、均勻且呈圓形的氧化鈰(CeO2...
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