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技術(shù)編號：3465816

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本發(fā)明涉及一種多晶硅的生產(chǎn)設(shè)備，尤其是一種用于生產(chǎn)多晶硅的多晶硅還原爐。背景技術(shù)隨著科技的發(fā)展，太陽能光伏產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展也越來越迅猛。作為太陽能光伏產(chǎn)業(yè)以及半導(dǎo)體工業(yè)主要的原料的多晶硅，其工業(yè)需求也是越來越大。目前，業(yè)界生產(chǎn)多晶硅的方法有多種，其中較為常見的是氫還原法。其是把提純好的三氯氫硅和凈化好的氫氣作為原料，通入到反應(yīng)容器內(nèi)，在高溫、高壓環(huán)境下，兩者在反應(yīng)容器內(nèi)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成多晶硅，并沉積在反應(yīng)容器內(nèi)的發(fā)熱體上。隨著化學(xué)反應(yīng)的繼續(xù)，沉積在...
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