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技術(shù)編號：3465836

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本發(fā)明是一種硅化鎂，特別涉及一種硅化鎂的生產(chǎn)方法及其生產(chǎn)設(shè)備，應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、特種氣體、微電子、太陽能電池和陶瓷。背景技術(shù)硅烷(SiH4),又稱四氫化硅，是最重要的電子氣體，也是生產(chǎn)多晶硅的原料氣體， 它對微電子、光伏、特種陶瓷、光電子、新材料等領(lǐng)域具有深刻的影響。目前，業(yè)界生產(chǎn)硅烷主要采用催化歧化三氯氫硅法(UCC工藝)、氫化鋰還原三氯氫硅法、氫化鋁鈉(NaAlH4)還原四氟化硅法、催化歧化乙氧基硅烷和硅化鎂法。與其他技術(shù)相對，硅化鎂法因具有投資小、 ...
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