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技術(shù)編號：3466471

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本發(fā)明是。采用兩組串聯(lián)的金屬鈀復(fù)合膜氫氣純化器，對三氯氫硅還原循環(huán)氫氣進行提純處理，其中第一組金屬鈀復(fù)合膜氫氣純化器相對較大，提純處理的超純氫氣(H2純度> 99.9999% )返回還原爐，用于三氯氫硅還原的原料氣，而第二組純化器相對較小，提純處理的高純氫氣(H2純度-99. 999%)去冷氫化工段作為原料氣。該方法提純處理三氯氫硅還原循環(huán)氫氣的回收率可以達到99%以上。利用該方法提純的氫氣生產(chǎn)多晶硅，可以明顯提高多晶硅產(chǎn)品的純度和質(zhì)量，具有明顯的節(jié)...
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