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技術(shù)編號：3466475

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本發(fā)明是利用多晶硅生產(chǎn)過程三氯氫硅還原循環(huán)氫氣提純氫氣的方法，通過本發(fā)明可以使三氯氫硅氫還原循環(huán)氫氣的純度提高1-3個數(shù)量級，雜質(zhì)濃度降低1-3個數(shù)量級。 具體地，利用金屬鈀復(fù)合膜氫氣純化器，從多晶硅生產(chǎn)過程三氯氫硅還原循環(huán)氫氣提純氫氣。當(dāng)循環(huán)氫氣中的氯含量較高時，首先利用物理吸附或化學(xué)轉(zhuǎn)化的方法對經(jīng)冷凝和干法分離工序出來的循環(huán)氫氣進(jìn)行脫氯處理，使得氯含量降低到0. 5ppm以下，再采用金屬鈀復(fù)合膜氫氣純化器對氫氣進(jìn)行純化，從而得到純度為99. 999% ...
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