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技術(shù)編號：3467101

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本發(fā)明涉及結(jié)晶設(shè)備，具體來說涉及一種電子級化學(xué)品結(jié)晶器。 背景技術(shù)電子級磷酸化學(xué)品晶體廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、薄膜液晶顯示器(TFT-IXD) 等電子工業(yè)，主要用于芯片的清洗和蝕刻，電子級磷酸晶體對生產(chǎn)設(shè)備有較高的要求，晶體難以控制、結(jié)晶條件要求苛刻，結(jié)晶器是影響產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵；目前國內(nèi)應(yīng)用的結(jié)晶器存在攪拌不充分，攪拌器的速率不好調(diào)節(jié)，下料過程中有堵塞的現(xiàn)象，清理困難，而且結(jié)晶過程不易觀察，磷酸晶體的形狀難以控制、產(chǎn)品易被污染，從而影響產(chǎn)品的質(zhì)量及生產(chǎn)周...
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