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本發(fā)明涉及一種制備半導(dǎo)體納米材料的制備方法，具體地說是一種用氮?dú)庾?為氮源制備出氮化鋁的納米材料。 背景技術(shù)隨著電子科技的高速發(fā)展，納米材料的應(yīng)用范圍越來越廣泛，其中納米帶是 制作納米器件的關(guān)鍵材料。而納米帶具有更高的表面積比，并且氮化鋁有高達(dá) 6. 2ev的帶隙和很大的激子束縛能，所以氮化鋁的納米帶在彈性脈沖波傳感器、 納米機(jī)械共振器和場發(fā)射二極管有很好的應(yīng)用前景。目前已經(jīng)有很多生產(chǎn)氮化鋁 納米材料的方法，例如氯化物分解法、碳高溫還原法、氣體還原氮化法和...
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