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碳納米墻排列體以及碳納米墻的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3471802

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碳納米墻排列體(10)具備基板(1)及碳納米墻(2~9)?;?1)包含硅。并且,基板(1)包含凸部(11)及凹部(12)。凸部(11)以及凹部(12)沿著方向DR1而形成在基板1的一個表面。凸部(11)以及凹部(12)是在垂直于方向DR1的方向DR2上交替地形成。凸部(11)在方向DR2上具有0.1μm~0.5μm的長度,凹部(12)在方向DR2上具有0.6μm~1.5μm的長度。而且,凸部(11)的高度為0.3μm~0.6μm。碳納米墻(2~9)各自沿...
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