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技術(shù)編號(hào)：3472444

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本發(fā)明的題目是原位產(chǎn)生碳酰氟化物或其任何變異體的分子蝕刻劑的方法及其應(yīng)用。根據(jù)本發(fā)明，分子蝕刻劑碳酰氟化物COF2被提供以作為增加蝕刻和/或清潔和/或移除材料的效率。本發(fā)明的方法涉及激發(fā)與維持一電漿，無(wú)論其是遠(yuǎn)程或原位，藉由逐步方式加入添加物，例如但不限于，飽和、不飽和、或部分不飽和且具有分子式CyFz的全氟碳化合物和/或碳氧化物（COx）至三氟化氮電漿，進(jìn)入化學(xué)氣相沉積腔室之中，進(jìn)而產(chǎn)生碳酰氟化物COF2。三氟化氮可在化學(xué)氣相沉積腔室中的電漿中進(jìn)行激發(fā)，...
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