技術(shù)編號(hào):3473839
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及氣體分離凈化工程領(lǐng)域,在電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)中對(duì)回收氫氣的凈化,采用活性炭吸附,但氫氣中的BCl3、硼烷、磷烷、PCl5、POCl3等雜質(zhì)含量無(wú)法有效降低,影響了電子級(jí)多晶硅的生產(chǎn),本發(fā)明提供的凈化方案包括將回收氫氣預(yù)冷,再冷,使氫氣溫度降到0℃以下,然后進(jìn)入改性氧化鋁吸附器進(jìn)行吸附雜質(zhì),再經(jīng)過(guò)濾器過(guò)過(guò)濾,使氫氣純度達(dá)到99.999%(V/V),達(dá)到生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅的需要,本發(fā)明還具有工藝簡(jiǎn)單,易于操作,凈化效果明顯等有益效果。專(zhuān)利說(shuō)明一種電子級(jí)多晶...
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