技術(shù)編號(hào):3474785
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開(kāi)一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng),包括液氨罐、預(yù)處理罐、超純水罐、減壓蒸餾裝置、半成品罐一、半成品罐二、純水罐、過(guò)濾系統(tǒng)、成品罐。本實(shí)用新型通過(guò)超純水罐將超純水注入預(yù)處理罐,液氨經(jīng)過(guò)超純水進(jìn)行水洗,可以有效去除金屬離子雜質(zhì)和非金屬離子雜質(zhì),避免發(fā)生二次污染現(xiàn)象,過(guò)濾系統(tǒng)采用多級(jí)膜循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng),可以大量去除直徑大于0.5μm顆粒物,使其純度達(dá)到PPT級(jí),滿足極大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝,使其國(guó)產(chǎn)化、本土化。專利說(shuō)明一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)[0001]本實(shí)用新型...
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