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技術(shù)編號：3492748

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本發(fā)明涉及含有在酸的作用下對堿顯影液的溶解性發(fā)生改變的基材成分(A)和通過曝光來產(chǎn)生酸的產(chǎn)酸劑成分(B)的抗蝕劑組合物，其特征在于，所述產(chǎn)酸劑成分(B)含有由下述通式(b1-1)表示的化合物形成的產(chǎn)酸劑(B1)，式中，RX是可以具有取代基(但氮原子除外)的烴基；Q2和Q3分別獨立地為單鍵或2價的連接基團(tuán)；Y1是碳原子數(shù)為1～4的亞烷基或氟代亞烷基；Z+是有機(jī)陽離子(但下述通式(w-1)表示的離子除外)。專利說明[0001]本申請是201210243584....
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