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發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及通式(H)mM(R)n代表的有機(jī)金屬前體化合物，其中M是金屬或準(zhǔn)金屬，R 是相同或不同的、取代的或未取代的、飽和或不飽和的含有至少一個(gè)氮原子的雜環(huán)基，m為 0至小于M的氧化態(tài)的值，η為1至等于M的氧化態(tài)的值，而m+n的值等于M的氧化態(tài)；涉及 該有機(jī)金屬前體化合物的制備方法；以及涉及由該有機(jī)金屬前體化合物制備膜或涂層的方法。背景技術(shù)化學(xué)氣相沉積法用于在半導(dǎo)體制造或加工期間在諸如晶片或其他表面的基材上 形成材料膜。在化學(xué)氣相沉積中，化學(xué)氣相沉...
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