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光致酸生成劑、光刻膠、涂覆的基材以及形成電子器件的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3496598

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一種具有通式(1)的光致酸生成劑化合物其中,n是0或1;以及R1-R6各自獨(dú)立地是氫、鹵素、未取代或取代的C1-20直鏈或支鏈烷基、C1-20環(huán)烷基、C6-20芳基、C3-20雜芳基或具有以下結(jié)構(gòu)的酸生成基團(tuán)其中L是未取代或取代的C1-50二價(jià)基團(tuán);Z-是單價(jià)陰離子基團(tuán);M+是碘鎓離子或锍陽(yáng)離子。成對(duì)的R基團(tuán)可與它們所相連的碳結(jié)合以形成環(huán),只要形成的這種環(huán)不超過(guò)兩個(gè)即可。R1-R6中的至少一個(gè)包括酸生成基團(tuán),或者兩個(gè)成對(duì)的R基團(tuán)結(jié)合形成酸生成基團(tuán)。本發(fā)明還...
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