技術(shù)編號：3539282
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。,3-丁二烯的制造方法本發(fā)明涉及六氟-l，3-丁二烯的制造方法。更詳細地說，本發(fā)明涉及作 為半導(dǎo)體用蝕刻氣體等有用的六氟-l，3-丁二烯的制造方法。背景技術(shù)六氟-l，3-丁二烯(在本說明書中也稱為"C4F6"或"HFBD，，)例如作 為半導(dǎo)體用的精細蝕刻氣體受到關(guān)注。作為六氟-l，3-丁二烯的制造方法，人們歷來知道如下的方法。(1) 根據(jù)專利文獻1，在約-60 200。C下，使全氟烷基卣化物與格氏試 劑反應(yīng)，從而制造出全氟化烯烴類。(2) 才艮據(jù)專利文獻2...
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