技術(shù)編號：3576363
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及化工行業(yè)的電子化學(xué)品，更具體的說是一種高純度、超潔凈 化學(xué)品純化的方法。背景技術(shù)新型光致抗蝕荊微電子工業(yè)的核心技術(shù)是微細加工技術(shù)，它是微電子工業(yè)的靈 魂。微細加工技術(shù)，主要是指用光刻的方法進行加工的技術(shù)。光致抗蝕劑是進行微細加工 用的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料之一，微細加工的尺寸不同，所用的抗蝕劑也不同。一般加工0. 5微米以 上線寬的工藝采用紫外線抗蝕劑。加工0.5以下線寬的工藝則要用激光和輻射線抗蝕劑， 應(yīng)是近期研究開發(fā)的重點。早在幾年前，美國林肯實驗室和...
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