技術(shù)編號(hào):3610522
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開一種含倍半萜內(nèi)酯的成膜樹脂及其正性浸沒式曝光193nm光刻膠;所述成膜樹脂由含倍半萜內(nèi)酯的(甲基)丙烯酸酯單體和相關(guān)共聚單體在溶劑中進(jìn)行自由基共聚反應(yīng)制備而成,其特征在于所述成膜樹脂的分子量為4,000~5,000,000,分子量分布為1.4~2.4;所述共聚單體主要為下列質(zhì)量百分含量的化合物含天然產(chǎn)物倍半萜內(nèi)酯的組成單元10%~60%;含酸敏基團(tuán)單體5%~40%;具有疏水性能基團(tuán)的單體2%~40%;其它性能調(diào)節(jié)組分單體1%~20%;所述含倍半萜...
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