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技術(shù)編號：3647574

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本發(fā)明涉及。 背景技術(shù)高性能集成電路內(nèi)部都有成千上萬只電路，內(nèi)部電路復雜、微細和精密。 對這些在硅等半導體晶片上蝕刻和掩埋的微細精密電路，必須予以妥善保護， 以免在生產(chǎn)、運輸過程中造成損壞。為此，集成電路托盤材料需具有優(yōu)異的機 械性能，良好的靜電消散能力，耐熱性高，尺寸穩(wěn)定，翹曲小等特性。為了向集成電路托盤提供導電性，防止托盤積累靜電，傳統(tǒng)的做法是向其 基底樹脂材料中添加炭黑或碳纖維等導電填料。雖然石灰纖維對基底樹脂有增強作用，但碳纖維生產(chǎn)能耗大、添加量一...
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