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一種材料表面低溫等離子體改性方法及其裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3668759

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本發(fā)明涉及一種材料表面低溫等離子體改性方法及其裝置。背景技術(shù)材料表面改性處理技術(shù)是目前普遍使用的材料制備技術(shù)之一,其基本原理是在一定外界條件下,材料外部物質(zhì)與材料表面發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng),從而是材料表面狀態(tài)發(fā)生變化或在材料表面生產(chǎn)新的元素和新的基團(tuán),最終滿足實際應(yīng)用的需要。目前實現(xiàn)材料表面處理的方法通常為液相反應(yīng)法,由于液相反應(yīng)法存在能耗大,對環(huán)境有污染的缺點,急需一種節(jié)能環(huán)保的方法來替代。低溫等離子體表面處理是在負(fù)壓(真空)下,給反應(yīng)氣體環(huán)境施加高頻電場,...
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