技術編號:3670867
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及可用于制造表面具有親水性區(qū)域和疏水性區(qū)域的經處理的 基材的聚合性含氟化合物,含有該化合物的組合物,該經處理的基材和使 用該經處理的基材來制造形成有功能性材料的圖案的部件的方法。背景技術在半導體元件、顯示器、發(fā)光元件等領域內,多種功能性薄膜正逐漸 實用化。功能性薄膜是將具有所要的特性的材料配置于所要的位置并將其 圖案化而成的薄膜。該薄膜可用作配線、電極、絕緣層、發(fā)光層及光學薄 膜等。例如,通過光刻得到的光致抗蝕層圖案是其一例。但是,光刻的工序 復雜...
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