技術(shù)編號:3675139
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種圖案形成方法,所述方法包括(i)通過使用光化射線敏感或輻射敏感樹脂組合物形成膜的步驟,該樹脂組合物含有(A)含具有能夠通過酸的作用分解以產(chǎn)生極性基團的基團的重復(fù)單元的樹脂,(B)當用光化射線或輻射照射時能夠產(chǎn)生酸的化合物,以及(C)溶劑;(ii)將所述膜曝光的步驟,以及(iii)將所曝光的膜通過使用含有機溶劑的顯影液顯影以形成陰圖型圖案的步驟,其中基于樹脂(A)中的全部重復(fù)單元由下式(I)表示的重復(fù)單元的含量小于20摩爾%并且樹脂(A)含除由該特定式表...
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