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技術(shù)編號：3688931

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本發(fā)明涉及一種獲得金屬含量降低的含氟彈性體的方法，進(jìn)一步地，還涉及采用這種方法獲得的含氟彈性體和含有該含氟彈性體的組合物、以及由該組合物制成的成型制品。背景技術(shù) 過去以來，關(guān)于含氟樹脂(塑料)，被用于嚴(yán)格要求清潔度的某些半導(dǎo)體制造工藝中，而且被大量用于藥液的配管、方形槽、硅片籃等直接影響半導(dǎo)體制品的重要部位上，因此，正在積極地進(jìn)行降低含氟樹脂的金屬成分含量、TOC(總有機(jī)碳)以及微粒含量的研究。另外，關(guān)于主要由偏氟乙烯(VdF)單元或四氟乙烯(TFE)單元...
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