技術編號：3691763
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及氟橡膠成型體、特別涉及那些要求耐自由基性、純凈性、低氣體排放性等部位所使用的橡膠材料，以及用于半導體制造裝置、半導體輸送裝置等中的橡膠材料及其制造方法。背景技術 在半導體和液晶的制造中，在硅片等的CVD、干蝕刻、灰化等工序中，使用O2等離子體或CF4等離子體等各種等離子體進行處理。在這種使用等離子體的裝置中，使用彈性體性質的密封材料來密封各種連接部分和可動部分。近年來，為了提高半導體制造的生產率，作為半導體制造裝置之一的干蝕刻裝置的高密度等離子體...
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