技術(shù)編號：3724278
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及提高可水性顯影的光刻膠性能的改進(jìn)組合物，這基于它消除了在被制造圖形基片上的非平面性產(chǎn)生的反射所導(dǎo)致的圖形畸變。本發(fā)明涉及改進(jìn)的水溶的防反射頂層涂料組合物，它易于涂布，能提供較好的成像過程控制，而且是水溶的，因而易于用現(xiàn)有的石印加工法除去，這減少了對環(huán)境的危害而且不顯著增加石印加工法的成本。在現(xiàn)有技術(shù)中，在光學(xué)設(shè)備例如照相及其他設(shè)備中的透鏡上使用防反射涂層是公知的，這些涂層具有Fresnel公式中所描述的相互關(guān)系的優(yōu)點(diǎn)。已經(jīng)確認(rèn)，上層材料的折射率應(yīng)...
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