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一種硅基微型側(cè)噴口合成射流器及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3750896

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本發(fā)明涉及一種硅基微型側(cè)噴口合成射流器,還涉及這種硅基微型側(cè)噴口合成射流器的制作方法。背景技術(shù)合成射流器是流動(dòng)控制領(lǐng)域中重要的器件之一,它采用壓電、靜電或電磁等驅(qū)動(dòng)方式使其彈性膜片產(chǎn)生懸置振動(dòng),從而引起腔體體積的周期性變化,由此將外界氣體不斷地通過噴口吸入和排出空腔,在不需額外氣源的情況下產(chǎn)生合成式射流,實(shí)現(xiàn)流場的主動(dòng)控制。參照圖9。文獻(xiàn)“專利號為US 6,457,654的美國專利Micromachined synthetic jet actuators ...
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