技術(shù)編號(hào)：3752067
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及碳化硅晶體生長(zhǎng)，具體地，涉及。背景技術(shù)碳化硅晶體成功生長(zhǎng)出來之后，需經(jīng)后續(xù)的加工切片才能銷售。其中的一道工序就是碳化硅晶面的粗拋-把晶體置于自制的拋光機(jī)上打磨拋光。出于碳化硅的硬度僅次于金剛石考慮，使用金剛石粉(顆粒直徑40 60微米)作為磨料。由于金剛石粉的價(jià)格比較昂貴，所以從企業(yè)降低運(yùn)行成本的角度上考慮，重復(fù)利用金剛石磨料是值得肯定的，這也與國(guó)家提倡的創(chuàng)建資源節(jié)約型社會(huì)是一致的。初步判定拋光后留下的廢棄料主要成分有金剛石、石墨(來自于晶體背向...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。