技術(shù)編號：3758220
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及半導體制造設備，尤其涉及一種在封裝過程中用于蘸膠加蓋的設備。背景技術(shù)MEMS壓力傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器，其可以用類似集成電路(IC)設計技術(shù)和制造工藝，進行高精度、低成本的大批量生產(chǎn)，由此為消費電子和工業(yè)過程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開方便之門，使壓力控制變得簡單易用和智能化。傳統(tǒng)的機械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出，因此它不可能像MEMS壓力傳感器那樣做...
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